Описание
Цели и задачи курса:
Цель реализации программы - обеспечение уровня профессиональной подготовки оперативного персонала участка фотолитографии, студентов 4-5 курсов технических вузов в рамках приобретения квалификации.
В результате освоения программы слушатель должен приобрести следующие знания и умения:
Знать последовательность технологических процессов фотолитографии;
состав и принцип работы технологического оборудования участка фотолитографии;
основные правила безопасности при работе на установках;
процессы нанесения и проявления на трековых установках;
процессы совмещения и мультипликации на установках сканер/степпер;
разрешённые манипуляции с пластинами;
перегрузка пластин;
основные элементы и принципы работы установок перегрузки пластин;
проекционные шаблоны;
контрольно-измерительное оборудование, используемое при проведении контроля ФРМ.
Уметь обращаться с фотошаблонами; корректно проводить контрольно-измерительные операции.