Проектирование и обслуживание чистых производственных помещений для микро- и наноэлектронных производств

Применять методы выбора системы параметров чистого помещения

Результаты освоения компетенции

Знать

- принципы работы инженерных систем и технологического оборудования;

- необходимый набор параметров чистого производственного помещения для определения его класса чистоты и приборов для их измерения;

- методику расчета параметров чистых производственных помещений;

- регламент контроля инженерных систем, нормативные документы и стандарты по чистым производственным помещениям;

- принципы работы инженерных систем;

- методики диагностики инженерных систем;

- методики расчета параметров чистых производственных помещений;

- требования законодательства Российской Федерации, технических регламентов, сводов правил, стандартов, санитарных правил и норм, гигиенических н рмативов в области проектирования и строительства чистых помещений;

- методы испытаний чистых помещений и связанных с ними контролируемых сред;

- современные типы оборудования для проведения испытаний;

- регламент контроля чистых производственных помещений и инженерных систем, нормативные документы и стандарты по чистым производственным помещениям.

Уметь

- производить измерения параметров чистых производственных помещений и инженерных систем;

- анализировать параметры чистых производственных помещений и инженерных систем и определять причины их отклонения от проектных норм;

- составлять протоколы проверок, измерений и испытаний, итоговый отчет с заключением о соответствии чистых производственных помещений требуемому классу чистоты, а также общим заявленным технологическим параметрам;

- производить работы по поиску и устранению неисправностей в инженерных системах чистых производственных помещений;

- оценивать сроки проведения ремонтных работ инженерных систем. Производить диагностику инженерных систем;

- производить расчет параметров чистых производственных помещений;

- производить расчет срока службы расходных материалов в инженерных системах.

Иметь практический опыт

- определения источников аэрозольных загрязнений в чистых производственных помещениях;

- проведения регламентной и внеплановой диагностики инженерных систем чистых производственных помещений;

- анализа контролируемых параметров чистых производственных помещений и инженерных систем и выявление трендов;

- документирования результатов контроля параметров чистых производственных помещений и инженерных систем;

- составления и согласования регламента технического обслуживания и замены расходных материалов в инженерных системах;

- контроля параметров чистых производственных помещений и инженерных систем;

- проведения работ по выявлению причин, приводящих к отклонению параметров чистых производственных помещений от проектных решений.