«Современные методы анализа жидких химических реактивов и деионизированной воды в микроэлектронике»

Количество часов: 72 ак. часа.

Форма обучения: очная, в том числе с использованием электронных и дистанционных образовательных технологий.

Количество слушателей в группе для дистанционного обучения: 5-12.

Требования к образованию

К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее (бакалавриат, магистратура) и (или) среднее профессиональное образование.

Категория слушателей:

·         Специалисты химико-аналитических лабораторий, выполняющие расчёты показатели точности результатов измерений;

·         Специалисты в области метрологии и стандартизации, отвечающие за валидацию методик и внутрилабораторный контроль;

·         Руководители и ведущие эксперты лабораторий, осуществляющие контроль качества.

Цель реализации программы

Формирование у слушателей устойчивых практических навыков применения современных методов расчёта с использованием специализированного программного обеспечения для решения конкретных метрологических задач; формирование понимания принципов и методологий атомно-силовой микроскопии (АСМ) для выявления, характеризации и анализа наноразмерных дефектов, возникающих на поверхностях в результате обработки жидкими химическими реактивами и деионизованной водой (ДИВ) в микроэлектронных технологиях.

Содержание программы

Модуль 1. Автоматизация расчетов метрологических характеристик в количественном химическом анализе.

1.1. Введение в метрологию химического анализа. Основополагающие документы. Контроль качества анализа;

1.2. Правильность и прецизионность методики анализа. Статистическая обработка данных;

1.3. Контрольные карты Шухарта;

1.4. Неопределенность измерений в химическом анализе.

Модуль 2. Автоматизация расчетов метрологических характеристик в количественном химическом анализе.

2.1. Введение: Дефектность поверхностей в микроэлектронике и роль технологических жидкостей;

2.2. Теоретические и методические основы Атомно-Силовой Микроскопии (АСМ);

2.3. Методологии АСМ для анализа дефектности;

2.4. Решение прикладных задач микроэлектроники: анализ дефектов от жидкостей;

2.5. Интеграция данных АСМ и комплексные системы контроля.

Планируемые результаты обучения

·         Статистическая обработка данных и расчёт метрологических характеристик погрешности по РМГ 61;

·         Полный цикл расчёта неопределённости по руководствам «Еврохим СИТАК»;

·         Освоение ключевых аспектов работы с АСМ: пробоподготовка поверхностей после жидкостной обработки, выбор режимов и параметров сканирования, калибровка, интерпретация мультипараметрических данных (топография, фаза, адгезия, модуль упругости).

Документ об обучении

Удостоверение о повышении квалификации/Сертификат внутреннего образца